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| 제목 | 청주대 이상렬교수 공동연구논문 |
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성대 조형균교수팀과 청주대 이상렬교수 공동연구논문 ‘네이처’자매지에 최근 게재 인공설계 초격자박막 이용… 차세대 전자소자 적용기대 성균관대와 청주대학교 공동연구진이 인공적으로 설계된 초격자 박막을 이용하여 고이동도와 고신뢰성을 동시에 구현한 트랜지스터 소자개발 관련 논문이 세계 저명 학술지인 네이처(Nature) 자매지 ‘사이언티픽 리포트’(Scientific Reports)에 최근 게재됐다(논문 ’Artificial semiconductor/insulator superlattice channel structure for high-performance oxide thin-film transistors‘ : 고성능 산화물 박막형 트랜지스터용 반도체/절연체 인공 초격자 채널 구조). 이 연구는 차세대 디스플레이 구현의 핵심기술로 주목받고 있는 산화물 트랜지스터의 이동도 한계와 신뢰성 문제를 동시에 해결하는 새로운 개념의 박막구조를 제시했다. 전 세계적으로 차세대 디스플레이 구현을 위한 핵심기술인 산화물 트랜지스터 소자의 장기 신뢰성 문제를 극복하기 위하여 다양한 방의 연구가 진행되고 있으나, 고신뢰성과 고이동도를 동시에 만족시키는 소자를 구현하지 못하고 있는 게 현실이었다. 이 연구는 인공적으로 전하의 이동을 반도체와 절연체의 적층을 통해 이차원적으로 제한한 구조로 이동도를 높였다. 또한, 기존의 산화물 소재가 대기 중의 분자들과 반응에 의해 신뢰성이 저하되어 보호층이 필요했으나, 이번에 연구진이 설계한 초격자 구조의 절연체층이 자체 보호층 역할을 함으로써, 보호층 이 없이도 고신뢰성이 유지된다는 것을 처음으로 밝힌 것이다.  인공적으로 설계된 초격자 채널을 이용한 트랜지스터의 개념도. 전자의 이동을 이차원적으로 제한하여 고이동도 구현. 이 논문의 주저자는 성균관대학교 신소재공학부 안철현 박사(리서치 펠로우)로 조형균교수(공동교신저자)와 청주대학교 반도체공학과의 이상렬교수(공동교신저자)등이 공동 연구를 통해 개발한 것이다. 최근 인공적인 초격자 트랜지스터의 구조개선을 통해 온도, 바이어스, 빛 등에 의한 조건에서도 고신뢰성의 특성을 얻고 있어, 향후 차세대 전자소자에 적용 가능할 것으로 보인다고 밝혔다. 이 연구는 미래창조과학부 중견연구자지원사업과 미래유망융합기술 파이오니어 사업에 지원으로 수행됐다  연구자 사진 (안철현 박사, 조형균 교수, 이상렬 교수) 첨부자료 : 논문의 개념도, 연구자 사진. 문의 : 청주대학교 이상렬 교수 (043-229-8534, 010-3702-2776)
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| 작성자 | Master |
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